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고속 레이저 다이렉트 라이팅 공정을 이용한 비진공, 무마스크 니켈 전극 패터닝
Non-vacuum, maskless patterning of Ni electrodes by high-speed laser direct writing
- 제목
- 고속 레이저 다이렉트 라이팅 공정을 이용한 비진공, 무마스크 니켈 전극 패터닝
- 제목 (타언어)
- Non-vacuum, maskless patterning of Ni electrodes by high-speed laser direct writing
- 저자
- 이대호
- 발행일
- 2015-05-21
- 학회명
- 대한기계학회 마이크로/나노공학 부문 춘계학술대회
- 개최지
- 부산 (BEXCO)
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2015-05-21 ~ 2015-05-22