CoCr(-Ta)/Si 이층막의 C-축 우선 배향성에 관한 연구

제목
CoCr(-Ta)/Si 이층막의 C-축 우선 배향성에 관한 연구
저자
김경환
학회명
대한전기학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2001-07-18