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대향타겟식스퍼터링으로 제작된 ZnO박막의 C-축 배향성

제목
대향타겟식스퍼터링으로 제작된 ZnO박막의 C-축 배향성
저자
김경환
학회명
한국전기전자재료학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1999-05-28

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