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Two-step 스퍼터링법에 의한 Co77Cr20Ta3 박막의 결정학적 특성

제목
Two-step 스퍼터링법에 의한 Co77Cr20Ta3 박막의 결정학적 특성
저자
김경환
학회명
한국전기전자재료학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2002-11-07

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