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Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition(MPCVD)를 이용한 다이아몬드 박막 증착

제목
Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition(MPCVD)를 이용한 다이아몬드 박막 증착
저자
김종성
학회명
화학공학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1999-10-01

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