ScholarWorks@가천대학교

상세 보기

고집적 메모리 소자를 위한 Pt 전극의 Etching특성

제목
고집적 메모리 소자를 위한 Pt 전극의 Etching특성
저자
김종성
학회명
한국화학공학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1999-10-22

ScholarWorks@가천대학교

(13120) 경기도 성남시 수정구 성남대로 1342 Tel. 031-750-5114

COPYRIGHT © 가천대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.