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대향타겟식 스퍼터법으로 제작된 ZnO/Glass 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
김경환
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제목
대향타겟식 스퍼터법으로 제작된 ZnO/Glass 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
저자
김경환
학회명
한국진공학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2000-02-24
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