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Characterization of Ge thin film deposited directly on Si by low-thermal-budget processing
- 제목
- Characterization of Ge thin film deposited directly on Si by low-thermal-budget processing
- 저자
- 조성재
- 발행일
- 2015-06-29
- 학회명
- 2015 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD)
- 개최지
- 대한민국 제주
- 개최국가
- 일본
- 학회 개최일
- 2015-06-29 ~ 2015-07-01