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Atomic model for interface defects in Si oxynitride
Atomic model for interface defects in Si oxynitride
- 제목
- Atomic model for interface defects in Si oxynitride
- 제목 (타언어)
- Atomic model for interface defects in Si oxynitride
- 저자
- 이은철
- 발행일
- 2007-10-19
- 학회명
- 한국물리학회 2007년 가을 학술논문발표회
- 개최지
- 제주 국제컨벤션 센터 (ICC_
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2007-10-18 ~ 2007-10-19