PC기판상 ITO박막제작시 프라즈마 처리효과

제목
PC기판상 ITO박막제작시 프라즈마 처리효과
저자
김경환
발행일
2007-08-17
학회명
제33회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
라마다 프라자 제주 호텔
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-08-15 ~ 2007-08-17