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Preparation of multi-component thin film by facing target sputtering system
Preparation of multi-component thin film by facing target sputtering system
- 제목
- Preparation of multi-component thin film by facing target sputtering system
- 제목 (타언어)
- Preparation of multi-component thin film by facing target sputtering system
- 저자
- 김경환
- 발행일
- 2010-08-20
- 학회명
- 제39회 한국진공학회 하계정기학술대회
- 개최지
- 무창포 비체팰리스
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2010-08-18 ~ 2010-08-20