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인라인 스퍼터링 진공 증착장치를 이용한 ITO 투명 도전 박막의 전기적, 광학적 특성

권상직

제목: 인라인 스퍼터링 진공 증착장치를 이용한 ITO 투명 도전 박막의 전기적, 광학적 특성

저자: 권상직

발행일: 2008-08-22

학회명: 제 35회 한국진공학회 하계 정기학술대회 초록집

개최지: 라마다 프라자 제주 호텔

개최국가: 대한민국

학회 개최일: 2008-08-20 ~ 2008-08-22