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대향타겟식 스퍼터링법을 이용하여 제작한 태양전지용 AZO박막의 특성

제목
대향타겟식 스퍼터링법을 이용하여 제작한 태양전지용 AZO박막의 특성
저자
김경환
발행일
2008-08-22
학회명
제 35회 한국진공학회 하계 정기학술대회
개최지
라마다 프라자 제주호텔
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-08-20 ~ 2008-08-22

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