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FBAR 소자용 Si Membrane 구조 제작 및 ZnO 압전박막 증착

제목
FBAR 소자용 Si Membrane 구조 제작 및 ZnO 압전박막 증착
저자
김종성
학회명
화학공학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2002-10-01

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