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대향타겟식 스퍼터법으로 제작된 AlN 박막의 결정학적 특성

제목
대향타겟식 스퍼터법으로 제작된 AlN 박막의 결정학적 특성
저자
최형욱
학회명
한국전기전자재료학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2000-07-13

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