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대향타겟식 스퍼터법에 의한 ZnO:Al 박막의 제작

제목
대향타겟식 스퍼터법에 의한 ZnO:Al 박막의 제작
저자
김경환
학회명
한국진공학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2001-02-22

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