대향타겟스퍼터링장치에의해 증착된 ZnO박막의 결정학적 특성

제목
대향타겟스퍼터링장치에의해 증착된 ZnO박막의 결정학적 특성
저자
김경환
학회명
대한전기학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1999-11-20