타겟간 거리변화에 따른 ZnO박막의 c-축 배향성에 관한 연구

제목
타겟간 거리변화에 따른 ZnO박막의 c-축 배향성에 관한 연구
저자
김경환
학회명
한국표면공학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2000-05-26