SiON MOSFET의 전기적 계면 트랩에 대한 양자화학적 연구

Quantum chemical study of electrically active interface traps in SiON MOSFETs
제목
SiON MOSFET의 전기적 계면 트랩에 대한 양자화학적 연구
제목 (타언어)
Quantum chemical study of electrically active interface traps in SiON MOSFETs
저자
이은철
발행일
2007-10-04
학회명
한국전기화학회 추계학술대회
개최지
연세대학교
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-10-04 ~ 2007-10-04