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전자빔증착법에의한 알루미늄옥사이드층을 절연막으로 사용하는 산화아연박막트랜지스터의 제작

제목
전자빔증착법에의한 알루미늄옥사이드층을 절연막으로 사용하는 산화아연박막트랜지스터의 제작
저자
조의식
발행일
2010-06-04
학회명
한국반도체디스플레이기술학회 2010년 춘계학술대회
개최지
경워대학교 선큰플라자
개최국가
대한민국
학회 개최일
2010-06-04 ~ 2010-06-04

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