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대향타겟식 스퍼터링 방법을 이용한 IZTO박막의 제작

제목
대향타겟식 스퍼터링 방법을 이용한 IZTO박막의 제작
저자
김경환
발행일
2008-02-15
학회명
한국진공학회 동계학술대회
개최지
단국대학교
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-02-13 ~ 2008-02-15

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