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스퍼터링법에 의한 Pt 박막증착 및 온도센서 제조에 관한 연구

제목
스퍼터링법에 의한 Pt 박막증착 및 온도센서 제조에 관한 연구
저자
김종성
학회명
한국공업화학학회 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1999-10-01

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