플라즈마 표면처리에 의한 ITO 박막 제작특성

Characteritic of ITO thin film with plasma surface treatment
제목
플라즈마 표면처리에 의한 ITO 박막 제작특성
제목 (타언어)
Characteritic of ITO thin film with plasma surface treatment
저자
박상준
발행일
2007-11-03
학회명
2007년도 한국전기전자재료학회
개최지
충주
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-11-01 ~ 2007-11-03