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초박막 Si oxynitride의 스트레스에 의한 계면 열화 메커니즘
Mechanism for stress-induced interface degradations in ultrathin Si oxynitrides
- 제목
- 초박막 Si oxynitride의 스트레스에 의한 계면 열화 메커니즘
- 제목 (타언어)
- Mechanism for stress-induced interface degradations in ultrathin Si oxynitrides
- 저자
- 이은철
- 발행일
- 2007-11-02
- 학회명
- 2007년도 한국전기전자재료학회
- 개최지
- 충주대학교(충북 충주)
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2007-11-02 ~ 2007-11-02