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FTS장치의 투입전류에 의한 AZO박막의 성질
Structural properties of AZO thin films by FTS system with sputtering current
- 제목
- FTS장치의 투입전류에 의한 AZO박막의 성질
- 제목 (타언어)
- Structural properties of AZO thin films by FTS system with sputtering current
- 저자
- 김경환
- 발행일
- 2005-07-14
- 학회명
- International conference on electrical engineering 2005
- 개최지
- Kunming, China
- 개최국가
- 중국
- 학회 개최일
- 2005-07-10 ~ 2005-07-14