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First-principles study of interface defects in Si oxynitride
First-principles study of interface defects in Si oxynitride
- 제목
- First-principles study of interface defects in Si oxynitride
- 제목 (타언어)
- First-principles study of interface defects in Si oxynitride
- 저자
- 이은철
- 발행일
- 2007-11-10
- 학회명
- The International Conference of the Korean Ceramic Society for 50th Anniversary
- 개최지
- AT center, 대한민국
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2007-11-08 ~ 2007-11-10