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FBAR용 ZnO/SiO2/Si 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
최형욱
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제목
FBAR용 ZnO/SiO2/Si 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
저자
최형욱
학회명
한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2002-11-07
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