FBAR용 ZnO/SiO2/Si 박막의 결정학적 특성에 관한 연구

제목
FBAR용 ZnO/SiO2/Si 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
저자
최형욱
학회명
한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2002-11-07