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CoCrTa/Ti 이층막의 하지층 기판온도의존성 및 특성개선

제목
CoCrTa/Ti 이층막의 하지층 기판온도의존성 및 특성개선
저자
김경환
학회명
한국전기전자재료학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2000-11-09

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