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리니어모터 스테이지 롤오차 보상장치 제어
Control of Roll Error Compensation System for Linear Motor Stage
- 제목
- 리니어모터 스테이지 롤오차 보상장치 제어
- 제목 (타언어)
- Control of Roll Error Compensation System for Linear Motor Stage
- 저자
- 강민식
- 발행일
- 2007-11-10
- 학회명
- 한국정밀공학회 추계학술대회
- 개최지
- 광주과학기술원
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2007-11-08 ~ 2007-11-10