공정변수 변화에 따른 IZTO 박막의 특성분석

제목
공정변수 변화에 따른 IZTO 박막의 특성분석
저자
김경환
발행일
2008-08-22
학회명
제35회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
라마다 프라자 제주 호텔
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-08-20 ~ 2008-08-22