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개량형 대향타겟스퍼터링장치에 의한 Co-Cr박막의 미세구조

제목
개량형 대향타겟스퍼터링장치에 의한 Co-Cr박막의 미세구조
저자
김경환
학회명
한국전기전자재료학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1998-06-12

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