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하지층기판온도에 따른 CoCrTa/Si 이층박막의 특성변화

제목
하지층기판온도에 따른 CoCrTa/Si 이층박막의 특성변화
저자
최형욱
학회명
한국전기전자재료학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2001-11-08

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