MPCVD를 이용한 다결정 다이아몬드 박막의 증착 및 물성 분석

제목
MPCVD를 이용한 다결정 다이아몬드 박막의 증착 및 물성 분석
저자
권상직
학회명
대한 전기 공학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1998-06-20