플라즈마 제어형 고속 스퍼터링에 의한 자기디스크용 자성박막 제작

제목
플라즈마 제어형 고속 스퍼터링에 의한 자기디스크용 자성박막 제작
저자
김경환
학회명
경기도청
개최국가
대한민국
학회 개최일
1999-06-30