Ge-on-Si microdisk resonator with enhanced optical confinement by SiNx stressor for Si electronic and photonic integrated system

제목
Ge-on-Si microdisk resonator with enhanced optical confinement by SiNx stressor for Si electronic and photonic integrated system
저자
조성재
발행일
2016-02-24
학회명
The 23rd Korean Conference on Semiconductors (KCS)
개최지
강원도 하이원리조트
개최국가
대한민국
학회 개최일
2016-02-22 ~ 2016-02-24