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대향타겟스퍼터링법을 이용한 투명전극용 AZO/Ag/AZO다층박막의 제작

제목
대향타겟스퍼터링법을 이용한 투명전극용 AZO/Ag/AZO다층박막의 제작
저자
김경환
발행일
2006-11-11
학회명
2006년도 한국전기전자재료학회 추계학술대회
개최지
전북대학교(진수당 컨벤션센터)
개최국가
대한민국
학회 개최일
2006-11-09 ~ 2006-11-11

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