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자료유형
발행연도
2026 ~ 2026
2026 2026
키워드
언어
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2026
Article
Effect of W nucleation process on the adhesion of W/TiN/SiO2 structures for BEOL interconnects
- Lee, Sun Woo ;
- Kim, Dong Jun ;
- Jeon, Jinho ;
- Kim, Taek-Soo
- 2026-08
- Applied Surface Science
- ELSEVIER